勻膠機快速啟動和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，三檔轉(zhuǎn)速。在啟動之后先在低速下進(jìn)行勻膠，之后切換至高速下進(jìn)行甩膠，轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)；實現(xiàn)啟?？煽兀D(zhuǎn)速實時觀察等功能。儀器配置“安全開關(guān)”按鈕，當(dāng)進(jìn)行高速運轉(zhuǎn)時，關(guān)上上蓋后，“安全開關(guān)”啟動，運行過程中，上蓋不能打

蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司（原名：蘇州汶顥芯片科技有限公司）是一家留學(xué)人員回國創(chuàng)業(yè)的高新科技企業(yè)，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體，技術(shù)力量雄厚，生產(chǎn)設(shè)備先進(jìn)，檢測手段齊全，產(chǎn)品質(zhì)量過硬。公司建立了完備的微流控芯片研發(fā)與生產(chǎn)中心，配置了三條微流控芯片生產(chǎn)線，包括數(shù)控CNC微加工儀器，軟刻蝕有機芯片加工系統(tǒng)，光刻-掩模無機芯片加工系統(tǒng)，可以加工生產(chǎn)所有材質(zhì)的芯片，如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。產(chǎn)品涵蓋集成式通用醫(yī)療診斷芯片、集成式通用環(huán)境保護(hù)分析監(jiān)測芯片、集成式通用食品安全分析檢測芯片和基于微流控芯片的新能源體系四大系列數(shù)十個品種，以及各類科研類芯片，并在生物芯片和化學(xué)芯片領(lǐng)域一直保持技術(shù)和研發(fā)的領(lǐng)先地位，擁有81項知識產(chǎn)權(quán)，其中：已申請發(fā)明專利65件、實用新型專利7件，注冊商標(biāo)2件，登記軟件著作權(quán)7件。

1.臺式勻膠機旋涂儀產(chǎn)品簡介

WH-SC-01勻膠機適用于半導(dǎo)體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。其總體設(shè)計由蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司開發(fā)完成，具有知識產(chǎn)權(quán)。

勻膠機快速啟動和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，三檔轉(zhuǎn)速。在啟動之后先在低速下進(jìn)行勻膠，之后切換至高速下進(jìn)行甩膠，轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)；實現(xiàn)啟?？煽?，轉(zhuǎn)速實時觀察等功能。儀器配置“安全開關(guān)”按鈕，當(dāng)進(jìn)行高速運轉(zhuǎn)時，關(guān)上上蓋后，“安全開關(guān)”啟動，運行過程中，上蓋不能打開。可以起到保護(hù)作用。

2.臺式勻膠機旋涂儀技術(shù)參數(shù)

2 轉(zhuǎn)速：300-4500RPM

2 時間控制：1--32767s

2 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%

2 膠的均勻性：±3%

2 參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)

2 適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠

2 電源輸入：AC220V±10V,50HZ

2 功率：60W

2 重量：13kg

2 外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）

2 工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80%

3.臺式勻膠機旋涂儀特征圖解

①防撞墊②勻膠托盤③觸摸屏④專用吸附盤⑤觀察窗⑥蓋板 ⑦抽氣孔⑧電源插口及開關(guān)

4.臺式勻膠機旋涂儀操作說明

（1）選擇合適的專用吸附盤（略小于樣本尺寸），將缺口對準(zhǔn)螺釘安裝，吸附盤安裝時一定要插入到底。

（2）開啟電源，進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置頁面?？煞謩e設(shè)置三個階段轉(zhuǎn)速和時間，按工藝設(shè)置好轉(zhuǎn)速和時間，點擊“確定”。

（3）進(jìn)入啟動儀器界面，放片，要注意放正。打開真空泵，點擊“吸盤”后點“啟動”，儀器開始運行。轉(zhuǎn)速和運行階段以及當(dāng)前階段剩余時間可在顯示屏上實時觀察。

（4）滴膠，動作要快。在一階段運轉(zhuǎn)時間內(nèi)滴膠完畢，關(guān)上上蓋；隨時間推移自動運行第二和第三階段。關(guān)上上蓋后，安全開關(guān)啟動，必須等到儀器停止運行，上蓋才能被打開。

（5）電機停轉(zhuǎn)后，點擊脫盤，吸片停止。打開上蓋，取下片子。

（6）繼續(xù)勻膠時重復(fù)以上步驟。

（8）勻膠結(jié)束后，關(guān)上上蓋，切斷電源。

5.臺式勻膠機旋涂儀維護(hù)清洗

屬下列情況之一時，需要對抽氣室進(jìn)行清洗

1.正常使用半個月的；

2.膠被吸入抽氣室的；

3.電機轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動的。

6.臺式勻膠機旋涂儀常見故障排除

下列故障非本機故障，用戶可參考自行解決，若仍不能排除故障，請及時撥打本公司服務(wù)熱線：，本公司將竭誠為廣大用戶服務(wù)。

故障現(xiàn)象	原因	排除
電機不轉(zhuǎn)	1.電源線沒插好	插好電源線
	2.保險管熔斷	換用同規(guī)格新的保險管
硅片沒吸住	1.吸氣管未插	插好吸氣管
	2.真空泵沒開	打開真空泵

臺式勻膠機旋涂儀安全注意事項

拆開包裝后，請按照裝箱單詳細(xì)檢查配件，如有缺失，請聯(lián)系銷售商。注意必須將所有包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發(fā)或受到其它外界因素的影響引起火災(zāi)。

操作前請詳細(xì)閱讀本說明全部內(nèi)容，并嚴(yán)格按照要求依次進(jìn)行操作。若用戶因不規(guī)范操作或違規(guī)操作而導(dǎo)致的人身傷害事故、儀器損害、財產(chǎn)損失，制造商將不予承擔(dān)。

(1) 安置本儀器的桌（臺）面應(yīng)堅實平整，四只橡膠腳墊應(yīng)與桌（臺）面平穩(wěn)接觸，否則會產(chǎn)生儀器不平穩(wěn)，從而導(dǎo)致超標(biāo)準(zhǔn)的震動，致使器件損傷或儀器停止運行。

(2) 儀器工作時，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非安全空間內(nèi)逗留，勻膠機周圍不得放置危險物品。

(3) 所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盤甩小的樣片就會產(chǎn)生漏氣，同時造成膠被吸入抽氣室，導(dǎo)致氣路堵塞。

(4) 如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進(jìn)行清洗，否則吸附盤、光電盤、電機軸會黏在一起，造成電機轉(zhuǎn)不動，拆卸亦很困難。

(5) 氣路堵塞或氣泵損壞時電機也可運轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片，故在啟動電機前須確認(rèn)氣泵的狀況良好及吸片確已吸住。

(6) 儀器出現(xiàn)故障應(yīng)及時與銷售商或廠家聯(lián)系，切勿自行打開機殼。嚴(yán)禁非專業(yè)人員維修，維修時必須先拔下電源插頭，防止事故發(fā)生。

臺式勻膠機旋涂儀裝箱清單：

 

名稱	單位	數(shù)量
勻膠機機體	臺	1
電源線	份	1
專用吸附盤4寸	個	標(biāo)配
專用吸附盤1寸、2寸、3寸、5寸	個	選配
無油真空泵	個	選配
使用手冊	份	1
質(zhì)檢報告	份	1
合格證	份	1
保修卡	份	1

無油真空泵：又稱干式真空泵，是泵的工作腔內(nèi)沒有任何介質(zhì)，可以原汁原 味的回收氣體。

 無油真空泵技術(shù)參數(shù)：

 1）型號：AP-550V 

2）抽速：1.5 升/秒 

3）功率：320W 

4）噪音：58db 

5）電壓、頻率：~220V/50HZ 

6）zui低真空度：-700mmHg 

7）重量：5.8kg 

8）外形尺寸：240×130×200mm

注：清點包裝箱內(nèi)的附件和印刷資料，箱內(nèi)的附件和資料請按照裝箱清單對照檢查。

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