產(chǎn)品簡介
2MHz射頻電源采用E類放大器，實現(xiàn)效率高、高可靠性。大的冗余設(shè)計，使其具有長期滿功率輸出能力。特殊的濾波網(wǎng)絡(luò)，實現(xiàn)波形的純凈。
公司簡介
吉兆源科技有限公司是一家致力于射頻技術(shù)領(lǐng)域生產(chǎn)和研發(fā)的高科技技術(shù)企業(yè)。 公司主要研發(fā)和生產(chǎn)射頻電源、射頻自動匹配器及濺射用直流電源。
吉兆源與國外知名射頻企業(yè)保持著深層次的技術(shù)交流，真正了解國外射頻技術(shù)核心，吉兆源采取靈活的合作模式，國內(nèi)外工程師平均設(shè)計經(jīng)驗?zāi)晗薅即笥?5年，已經(jīng)形成有別于其他國內(nèi)射頻電源公司的差異化競爭優(yōu)勢。并在延續(xù)、吸收國外設(shè)計理念、技術(shù)的基礎(chǔ)上研發(fā)出了國內(nèi)自己的射頻產(chǎn)品，使公司成為國內(nèi)真正搞自主研發(fā)并成功為國內(nèi)客戶替換掉了多款國外射頻產(chǎn)品的高新技術(shù)企業(yè)，并為國內(nèi)生產(chǎn)的高端設(shè)備射頻電源的國產(chǎn)化提供了可靠的國內(nèi)方案。
公司產(chǎn)品設(shè)計理念起步于國外半導(dǎo)體領(lǐng)域，立足于國內(nèi)工業(yè)生產(chǎn)應(yīng)用，成功迎合本土化需求，多年參與半導(dǎo)體設(shè)備射頻電源設(shè)計、調(diào)試和服務(wù)。具有豐富的半導(dǎo)體設(shè)備服務(wù)能力，也以此保證了公司產(chǎn)品的頂端優(yōu)勢。
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產(chǎn)品說明
產(chǎn)品性能
2MHz射頻電源采用E類放大器，實現(xiàn)效率高、高可靠性。大的冗余設(shè)計，使其具有長期滿功率輸出能力。特殊的濾波網(wǎng)絡(luò)，實現(xiàn)波形的純凈。諧波性能優(yōu)越，可承受開路、短路等極端沖擊。大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)
產(chǎn)品性能
2MHz射頻電源可以作為射頻驅(qū)動等離子體系統(tǒng)的電源。應(yīng)用對象包括：刻蝕、PECVD、磁控濺射、ICP等 。
控制方式
2MHz射頻電源控制方式多樣：RS232、RS485、DeviceNet和模擬口等方式。
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