半導(dǎo)體冷水機(jī)循環(huán)制冷機(jī)chiller ，，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過(guò)程/激光加工機(jī)/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

成都中冷低溫科技有限公司是一家創(chuàng)新型高科技企業(yè)，擁有一支專業(yè)知識(shí)扎實(shí)、實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)豐富的年輕團(tuán)隊(duì)，主要成員來(lái)至于國(guó)內(nèi)外知名學(xué)府或科研院所。公司專注于低溫領(lǐng)域，提供常溫到-200℃的全套溫度解決方案，主要生產(chǎn)工業(yè)冷水機(jī)組、低溫制冷機(jī)、深冷水汽捕集泵、高低溫循環(huán)測(cè)試機(jī)、太空模擬倉(cāng)，產(chǎn)品應(yīng)用于化工、石油、生物、制藥、真空鍍膜、電子通訊、電池包測(cè)試、集成電路等領(lǐng)域。

半導(dǎo)體冷水機(jī)循環(huán)制冷機(jī)chiller 

主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精ZHUN控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過(guò)程/激光加工機(jī)/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

本設(shè)備采用變頻控溫方式，提高能效，減少能耗。-20℃下目標(biāo)制冷量可以達(dá)到3600W，滿足用戶制冷需求。精QUE控溫，控溫穩(wěn)定性達(dá)到±0.1℃，使用范圍廣，設(shè)定溫度：-20℃~80℃。

半導(dǎo)體冷水機(jī)循環(huán)制冷機(jī)chiller 

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機(jī)械拋光)，實(shí)驗(yàn)室精密裝置、高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

溫控精度（空載時(shí)）±0.05℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動(dòng)小

占地面積小、保護(hù)裝置

快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營(yíng)成本和保障生產(chǎn)

運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫

半導(dǎo)體冷水機(jī)循環(huán)制冷機(jī)chiller

可用選項(xiàng)

省空間、省配線、省配管、省工時(shí)、雙變頻型更節(jié)能。

可對(duì)應(yīng)溫度穩(wěn)定性（空載時(shí)）±0.05℃。

循環(huán)液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)

冷卻方式：水冷式

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