NanoMap-D三維光學(xué)表面輪廓儀和三維接觸式表面輪廓儀系統(tǒng)

你想知道哪種技術(shù)用于表面形貌接觸或非接觸的輪廓儀。接觸和非接觸兩種技術(shù)存在大約30年了，但是兩種技術(shù)都不能相互取代。它們是互為補(bǔ)充的技術(shù)。我們的下一代通用的表面輪廓儀能夠在同一個(gè)檢測(cè)器上容納三維光學(xué)表面輪廓儀和三維掃描接觸輪廓儀。兩個(gè)互補(bǔ)的技術(shù)在同一個(gè)平臺(tái)上打開了容易和可靠地分析任何種類的樣品的窗口。自動(dòng)容易地開關(guān)兩個(gè)頭，而且容易的軟件使這個(gè)系統(tǒng)很有效力和通用性。

購(gòu)買者有一個(gè)選擇，現(xiàn)在只選擇一個(gè)模塊，將來在模塊平臺(tái)上能夠加第二個(gè)頭。這個(gè)系統(tǒng)是升級(jí)的。由研究和生產(chǎn)環(huán)境使用。

特征

平臺(tái)特征
? 客戶馬達(dá)臺(tái)是計(jì)算機(jī)在5個(gè)方向控制的

? 超高分辨率數(shù)字成像傳感器同工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)比較，傳遞13倍的數(shù)據(jù)

? 容易使用的兩個(gè)關(guān)鍵操作

? 在一個(gè)平臺(tái)上容納兩種技術(shù)

光學(xué)輪廓儀頭的特征

? 兩百萬(wàn)像素圖像

? 1皮米的分辨率

? Z軸范圍從nm到10mm

? 超快速(不到一秒鐘產(chǎn)生圖像)

? LED光源壽命超過20年

接觸式輪廓儀頭的特征

? 壓力尖掃描

? 產(chǎn)生三維圖像和二維圖像

? Z軸范圍 nm到500微米或0.5mm

? XY軸范圍 nm到150mm(使用針尖和臺(tái)面掃描模式)

應(yīng)用

? 臺(tái)階高度測(cè)量

? 表面粗糙測(cè)量

? 定量的抓和挖的特征，呈現(xiàn)深度、寬度和體積

? 平面或曲率的測(cè)量

? 二維薄膜應(yīng)力測(cè)量

? 薄膜厚度

? 表面輪廓- 缺陷、形貌等