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TCT-HT 薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)

武漢嘉儀通科技有限公司

會員指數(shù)：

企業(yè)認(rèn)證：

價格：電議

所在地：湖北武漢市

型號：TCT-HT

更新時間：2018-08-14

瀏覽次數(shù)：1011

公司地址：湖北省武漢市高新大道999號未來科技城C4棟

18972908566 王珮鑫(女士)

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產(chǎn)品簡介

薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)采用3ω測試方法，有效克服了樣品表面熱輻射現(xiàn)象，能夠良好測試微/納米薄膜材料的熱導(dǎo)率?？蓮V泛應(yīng)用于輔助各種功能薄膜材料的研究與開發(fā)，涵蓋范圍包括集成電路散熱材料、航空航天材料、熱電材料與器件、信息存儲與光電器件等。目前，已贏得了包括科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所、嘉興學(xué)院以及第

公司簡介

武漢嘉儀通科技有限公司是以薄膜物性檢測作為戰(zhàn)略定位，技術(shù)領(lǐng)先的中國高科技企業(yè)。公司集研發(fā)、市場和技術(shù)服務(wù)于一體，相繼被評為湖北省“百人計劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業(yè)。公司成立于2009年，總部位于中國光谷，專注于薄膜材料物理性能分析與檢測儀器的自主研發(fā)，并致力于為客戶提供薄膜材料的熱學(xué)和電學(xué)性能測試分析整體解決方案。

展開

產(chǎn)品說明

薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)產(chǎn)品特點

● 不直接測量溫度變化，而是通過測量材料在導(dǎo)熱過程中溫度的變化轉(zhuǎn)換為的電信號的變化來實現(xiàn)微/納米薄膜材料的熱導(dǎo)率，微伏級電壓值，保證測量結(jié)果的。

● 采用交流電加熱方式，同時選擇并優(yōu)化設(shè)計加熱電的形狀與尺寸，可保證加熱均勻性及測試應(yīng)用的廣泛性、準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性。

● 待測薄膜樣品金屬尺寸小，能有效減小黑體輻射引起的測量誤差。

● 友好的軟件界面。

薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)測試實例



同溫度下，Si薄膜熱導(dǎo)率測試結(jié)果	不同溫度下，SiO2薄膜熱導(dǎo)率測試結(jié)果
不同溫度下，GeTe/Bi2Te3超晶格熱導(dǎo)率的變化	不同溫度下，GeTe/Bi2Te3超晶格熱導(dǎo)率的變化

薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

型號	TCT-HT
溫度范圍	RT-500K
測試對象	半導(dǎo)體薄膜、導(dǎo)電薄膜、緣薄膜等
熱導(dǎo)率測量范圍	0.1-10W/(m·K)(可擴展至2000W/(m·K))
測試精度（熱導(dǎo)率）	±5%(在Si上測量)，±10%（其他）
適合氛圍	真空
樣品尺寸	長 x 寬：(5-10)x(5-10)，單位mm,薄膜厚度≥100nm
其他注意事項	測量導(dǎo)電薄膜時，需要沉積緣層（推薦：Sio2），薄膜表面要非常光滑，確保緣層不漏電；襯底熱導(dǎo)率要遠(yuǎn)大于薄膜熱導(dǎo)率，推薦使用Si、AIN等高熱導(dǎo)襯底。
主機尺寸	710 x 600 x 490，單位mm
重量	80kg

薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)技術(shù)原理

薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)原理示意圖

本產(chǎn)品技術(shù)方案核心為3ω測試法，其主要原理為在待測薄膜材料表面淀積一層金屬電阻條，往金屬條兩端施加頻率為ω的電流，那么在焦耳熱的作用下該金屬條將產(chǎn)生頻率為2ω的溫升，由于金屬條一般表現(xiàn)出正電阻溫度系數(shù)，這將導(dǎo)致其電阻值也產(chǎn)生頻率為2ω的波動，這個頻率為2ω的電阻與頻率為ω的電流耦合將產(chǎn)生一個在頻率為3ω的小電壓信號V3ω。該小信號電壓的幅值與待測材料的熱導(dǎo)率有關(guān)，因而檢測該電壓信號后通過相關(guān)計算，就可求出待測材料的熱導(dǎo)率Ks。

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