GFM 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合一個(gè)直線管狀傳感器和一個(gè)限制流體分子的控制器來(lái)提供和重復(fù)性。流量比率是虛擬化的不受溫度

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GFM 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合一個(gè)直線管狀傳感器和一個(gè)限制流體分子的控制器來(lái)提供高精度和重復(fù)性。流量比率是虛擬化的不受溫度和壓力變化的影響。實(shí)際流量將以工程單位顯示在3位數(shù)字，90°旋轉(zhuǎn)的液晶顯示屏上。本系列可以與GFT系列流量累計(jì)器一起以用于需要測(cè)定流量累計(jì)的場(chǎng)合。GFM系列產(chǎn)品包括一份NIST跟蹤記錄證書(shū)。 型號(hào) 流量范圍 流量計(jì) 鋁 不銹鋼 0-10 SCCM GFM-1101 GFM-2101 0-20 SCCM GFM-1102 GFM-2102 0-50 SCCM GFM-1103 GFM-2103 0-100 SCCM GFM-1104 GFM-2104 0-200 SCCM GFM-1105 GFM-2105 0-500 SCCM GFM-1106 GFM-2106 0-1 L/min GFM-1107 GFM-2107 0-2 L/min GFM-1108 GFM-2108 0-5 L/min GFM-1109 GFM-2109 0-15 L/min GFM-1111 GFM-2111 0-30 L/min GFM-1131 GFM-2131 0-50 L/min GFM-1133 GFM-2133 0-100 L/min GFM-1142 GFM-2142 0-200 L/min GFM-1143 GFM-2143 0-500 L/min GFM-1144 GFM-2144 0-1000 L/min GFM-1145 GFM-2145 流量量程是相當(dāng)于氮?dú)庠?0°F (21°C) @ 760 毫米汞柱的條件下標(biāo)定的 規(guī)格 介質(zhì)：與接液部件兼容的清潔氣體 接液材質(zhì)： GFM-1XXX: 陽(yáng)極氧化鋁, 銅, 316不銹鋼 和Viton? O型密封圈; GFM-2XXX: 316不銹鋼 和Viton? O型密封圈 精度： 滿量程時(shí)±1.5%包括線性以上59-77°F (5-25°C) 和5-60psia (0.35-4bar) 重復(fù)性： 滿量程的±0.5% 反應(yīng)時(shí)間： 實(shí)際流量的±2%以內(nèi)是2秒 輸出： 線性0-5VDC和4-20mA zui大微粒尺寸： 5微米 工作溫度： 32-122°F (0-50°C) 電源： ±12VDC 過(guò)程連接： 流速≤50L/m壓縮接頭是1/4 英寸；100和200L/m是3/8英寸；500L/m是1/2英寸；1000L/m是3/4英寸 壓力范圍： 500psig(34.5bar) 泄漏率： 氦氣的1 x 10-7 sccs 顯示器： 90°可傾斜，3-1/2數(shù)字 認(rèn)證： CE 附件 GFC系列氣體質(zhì)量流量計(jì) 型號(hào)GFC-110P,110V電源 型號(hào)GFC-220PE,220V電源 型號(hào)GFM-CBL4, 3英尺長(zhǎng)電纜用于4-20mA輸出 型號(hào)GFM-CBL5, 3英尺用于0-5VDC輸出的延長(zhǎng)電纜 型號(hào)IO-1,0-5VDC的RS232輸入到輸出信號(hào)調(diào)節(jié)裝置
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