蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司是一家留學(xué)人員回國(guó)創(chuàng)業(yè)的高新科技企業(yè)，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售為一體，技術(shù)力量雄厚，生產(chǎn)設(shè)備先進(jìn)，檢測(cè)手段齊全，產(chǎn)品質(zhì)量過(guò)硬。公司建立了完備的微流控芯片研發(fā)與生產(chǎn)中心，配置了三條微流控芯片生產(chǎn) 線，包括數(shù)控CNC微加工儀器，軟刻蝕有機(jī)芯片加工系統(tǒng)，光刻-掩模無(wú)機(jī)芯片加工系統(tǒng)，可以加工生產(chǎn)所有材質(zhì)的芯片，如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。產(chǎn)品涵蓋集成式通用醫(yī)療診斷芯片、集成式通用環(huán)境保護(hù)分析監(jiān)測(cè)芯片、集成式通用食品安全分析檢測(cè)芯片和基于微流控芯片的新能源體系四大系列數(shù)十個(gè)品種，以及各類(lèi)科研類(lèi)芯片，并在生物芯片和化學(xué)芯片領(lǐng)域一直保持技術(shù)和研發(fā)的領(lǐng)先地位，申請(qǐng)國(guó)家專(zhuān)利89項(xiàng)，其中授權(quán)20余項(xiàng)，已經(jīng)獲批注冊(cè)商標(biāo)2件，軟件著作權(quán)7件，江蘇省高新技術(shù)產(chǎn)品3項(xiàng)，建立企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)5項(xiàng)。

蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司提供的產(chǎn)品和服務(wù)按市場(chǎng)可分為科研類(lèi)芯片、儀器標(biāo)配芯片、應(yīng)用類(lèi)芯片及系統(tǒng)和芯片實(shí)驗(yàn)室解決方案?？蒲蓄?lèi)芯片服務(wù)于基于微流控芯片的科研工作者，提供包括聚二甲基硅氧烷（PDMS）、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、玻璃及硅基等各種不同材質(zhì)的微流控芯片的設(shè)計(jì)與制備，用戶只需配置必要的輔助設(shè)備即可使用；儀器標(biāo)配芯片是針對(duì)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上微流控芯片儀器開(kāi)發(fā)的標(biāo)準(zhǔn)芯片，為微流控芯片儀器的核心組件，屬耗材類(lèi)產(chǎn)品，如毛細(xì)管電泳芯片；應(yīng)用類(lèi)芯片及系統(tǒng)是利用微流控芯片的技術(shù)優(yōu)勢(shì)開(kāi)發(fā)的分析檢測(cè)裝置，應(yīng)用于環(huán)保、食品安全、藥物篩選等領(lǐng)域；芯片實(shí)驗(yàn)室解決方案為客戶提供完整的一對(duì)一的微流控芯片科研或應(yīng)用的解決方案，分為產(chǎn)品和科技咨詢兩個(gè)方面：產(chǎn)品包括微流控芯片加工、檢測(cè)儀器設(shè)備配置及微流控芯片配件配置；科技咨詢?yōu)榭蛻籼峁┙M建芯片實(shí)驗(yàn)室的整體方案、解決微流控芯片應(yīng)用中的技術(shù)難題、微流控芯片項(xiàng)目研發(fā)服務(wù)等。

  按照現(xiàn)代公司制度規(guī)范運(yùn)作企業(yè)是公司創(chuàng)辦伊始就秉承的基本理念，目前，公司的團(tuán)隊(duì)結(jié)構(gòu)、人事制度、財(cái)務(wù)制度、知識(shí)產(chǎn)權(quán)制度等都已經(jīng)逐步形成和完善。公司的口號(hào)：高品質(zhì)、高信譽(yù)、高效率。公司的宗旨：以發(fā)明創(chuàng)新為龍頭，以科技成果轉(zhuǎn)化為手段，以微流控芯片領(lǐng)域?yàn)橹鲬?zhàn)場(chǎng)，走科研成果商品化，商品產(chǎn)業(yè)化，產(chǎn)業(yè)規(guī)?；蛧?guó)際化的道路，以自主創(chuàng)新的核心技術(shù)為基礎(chǔ)的競(jìng)爭(zhēng)戰(zhàn)略為企業(yè)長(zhǎng)期發(fā)展戰(zhàn)略，整合產(chǎn)業(yè)鏈的各項(xiàng)優(yōu)勢(shì)資源，打造以自主創(chuàng)新為企業(yè)特色的產(chǎn)業(yè)價(jià)值鏈，塑造民族品牌，迎接國(guó)際化的挑戰(zhàn)。

光刻機(jī)
產(chǎn)品名稱(chēng)：

光電URE-2000A型光刻機(jī)

             光刻機(jī)

光電URE-2000A型光刻機(jī)度高，尺寸豐富，運(yùn)動(dòng)行程多樣化等特點(diǎn)。

光刻機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆ 曝光面積：150mm×150mm

◆ 分辨力：0.8-1μm（膠厚2μm的正膠）

◆ 對(duì)準(zhǔn)精度：0.6μm

◆ 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm

◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

◆ 樣片尺寸：直徑15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm

◆ 照明均勻性： 3.5%（100mm 范圍）； 5%（ 150mm范圍）

◆ 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度

◆ zui大膠厚：500m(SU8膠，用戶提供勻膠條件)

◆ 光源平行性：3.5

◆ 汞燈功率：1000W（直流）

◆ 曝光設(shè)定方式：定時(shí)（方式0.1s-999.9s任意設(shè)定）

◆ 外形尺寸:1400mm（長(zhǎng)）1200mm(寬) 2150mm（高）

光刻機(jī)技術(shù)參數(shù) 配置:

（1）曝光頭

◆冷光橢球鏡

◆1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗,長(zhǎng)壽命型)

◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

◆光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡1

、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個(gè)透鏡）、i線濾光片

、場(chǎng)鏡1、場(chǎng)鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

◆冷卻風(fēng)扇

◆循環(huán)水冷系統(tǒng)

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

◆掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

◆轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

◆樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

◆樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，自動(dòng)調(diào)

◆承片臺(tái)4個(gè)（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）

◆掩模夾4個(gè)（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）

◆基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡

◆光源（配備品2只）、電源

◆雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

◆目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）

◆物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）

（4）CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

◆光源（配備品3只）、電源

◆成像光學(xué)系統(tǒng)

◆數(shù)據(jù)采集卡

◆CCD

（5）電控系統(tǒng)

◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

◆單片機(jī)控制系統(tǒng)

◆控制柜桌

◆計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器(21寸寬屏)

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

◆電磁閥驅(qū)動(dòng)

◆氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

◆真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

◆空壓機(jī)一臺(tái)（靜音泵）

◆管道

（8）技術(shù)資料

◆使用維修說(shuō)明書(shū)

◆顯微鏡使用說(shuō)明書(shū)