邁可諾公司全稱“邁可諾技術(shù)有限公司”，英文簡(jiǎn)稱“MYCRO”。這是一家富有創(chuàng)新精神的化高科技公司，專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實(shí)驗(yàn)室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商，公司網(wǎng)址為 。

  作為工業(yè)實(shí)驗(yàn)室市場(chǎng)領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)，邁可諾從事開發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)并營(yíng)銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù)，幫助全球客戶和合作伙伴取得成功。

  邁可諾成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出好的選擇和決定，尊重他們的決定，并協(xié)助他們實(shí)現(xiàn)高效率的科研成果，追求豐富有意義的生活。

1、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器；

2、7英寸觸摸屏控制界面，全自動(dòng)操作；

3、標(biāo)配75W版本，可選150W版本；

4、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動(dòng)表面處理、光刻膠蝕刻。遠(yuǎn)程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。
等離子清洗機(jī)美國(guó)PIE

三、技術(shù)參數(shù)

1、控制系統(tǒng)

1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式。

2）程序控制：可編程，總共有20個(gè)程序，每個(gè)程序有3個(gè)清潔步驟。

2、反應(yīng)腔體

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；

2）腔體容積：2.6L；

3）腔體尺寸：內(nèi)徑：110毫米，深度：280毫米。

3、射頻電源

1）射頻頻率：13.56MHz；

2）射頻功率：標(biāo)配0~75W；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W；。

4、等離子源

1）等離子強(qiáng)度探測(cè)器實(shí)時(shí)測(cè)量等離子源強(qiáng)度。

2）外置電設(shè)計(jì)，高壓電不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

5、氣體控制

1）氣路控制：標(biāo)配一路MFC；可選配三路MFC；

2）質(zhì)量流量計(jì)可以在0~100sccm之間控制氣體流量；

3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。
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