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價格：電議
所在地：北京
型號：MC,21
更新時間：2020-01-02
瀏覽次數(shù)：1548
公司地址：北京市西城區(qū)
黃女士(女士)
1、50毫秒內完成穩(wěn)定的控制響應
、穩(wěn)定的流量取決于控制響應速度，艾里卡特®質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值。
2、操作便捷
? 50-100毫秒控制響應
? 允許用戶自行調節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性
? 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性
? 同一臺設備控制質量流量、體積流量或壓力
? 瞬間啟動、無需預熱：1秒內即可開始流量控制
二、ALICAT氣體流量控制器產(chǎn)品系列
MC 標準系列
MCR 大流量系列
控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為無摩擦閥門，可控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應用需求量身定制閥門。
MCW / MCRW 低壓損系列
zui大限度減小壓損對系統(tǒng)的影響，滿量程壓損zui低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，
MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。
MCE / MCV 半導體行業(yè)專用系列
可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ，專門用于真空應用。可定制相應的防腐蝕系列MCES / MCVS。zui大量程：0-20 slpm. 點擊這里了解更多關于半導體行業(yè)專用系列
MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列
雙向質量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量?？啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。
三、ALICAT氣體流量控制器性能參數(shù)
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指標 |
質量流量控制器 |
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量程 |
0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM |
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精度 |
±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程） |
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重復性 |
±0.2% |
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量程比 |
200:1 |
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響應時間 |
100ms |
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標準狀態(tài)(STP) |
25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
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溫度范圍 |
-10～50 |
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零點漂移 |
0.02％ |
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量程漂移 |
0.02％ |
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濕度范圍 |
0- |
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測量流量范圍 |
128％（過流率） |
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zui大耐壓 |
145psi |
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輸出信號（數(shù)字） |
質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
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數(shù)字信號可選 |
RS485，Modbus，Profibus |
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輸出信號（模擬） |
質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
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模擬信號可選 |
0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
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電氣連接 |
8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計而定） |
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供電電壓 |
7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC） |
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供電電流 |
0.03（4-20mA輸出時為：0.05） |
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