CX-200系列掃描電鏡是在CX-100核心技術基礎上，創(chuàng)新調(diào)整了產(chǎn)品構架，性能進一步提高，達到當前同類產(chǎn)品的水平。作為COXEM公司新主力型產(chǎn)品，共分為4個標準化子型號。 

       CX-200TA型全自動掃描電鏡：渦輪分子泵+自動臺

       CX-200DA型全自動掃描電鏡：油擴散泵+自動臺  

       CX-200TM型半自動掃描電鏡：渦輪分子泵+手動臺

       CX-200DM型半自動掃描電鏡：油擴散泵+手動臺

“由于擴散泵對于真空環(huán)境的污染，造成儀器性能減退顯著，需要提高3倍以上維護頻率，對于大多數(shù)用戶來說，是不愿意接受的；另外真空環(huán)境污染造成樣品在高倍觀察時，產(chǎn)生碳沉積，影響圖像分辨率。因此從科學發(fā)展角度，從市場用戶的實際需要出發(fā)，COXEM暫不對外出售CX-200D系列產(chǎn)品。”

       具有技術水平的CX-200系列高性能大型鎢燈絲掃描電鏡，適合多種需求類型的客戶選購。

       在選購時，您需要考慮的問題，工作效率：

       掃描電鏡優(yōu)劣評價標準，是掃描電鏡的工作效率高低（這個標準是DEMA馳奔定義），儀器客觀的工作效率是由儀器的軟硬件決定的，當基本的功能指標都相同或者相似，其中對效率影響zui大的兩個因素，是真空系統(tǒng)的清潔程度和樣品臺的自動化程度。CX-200系列四個標準型號掃描電鏡根據(jù)以上兩個重要因素，進行組合而成。

        馳奔對掃描電鏡工作效率簡單分析如下：

1、搜索樣品感興趣點的速度，樣品臺自動化程度越高，效率越高。計算機導航坐標定位馬達驅(qū)動系統(tǒng)要優(yōu)于單純的馬達驅(qū)動，馬達驅(qū)動要優(yōu)于手動。對于樣品分析檢測，統(tǒng)計特征點，自動臺體現(xiàn)率。當然如果您的樣品放進去，只是選擇一兩個區(qū)域來照相，自動臺意義不大。

2、高質(zhì)量圖像獲得的效率：電子光學系統(tǒng)的自動化，或者更高的性能來提率。如熱場發(fā)射掃描電鏡看2萬倍，可以在2TV掃描速度下，清晰成像，而鎢燈絲大型掃描電鏡看2萬倍圖像，要清晰成像，光保存一幀圖像需要20秒以上，還不要說調(diào)整電子光學參數(shù)的功夫，如果不明就里，拿過來兩個圖像來比較，可能很難分出伯仲，因此有的人會說，在2萬倍水平上，鎢燈絲掃描電鏡和場發(fā)射掃描電鏡區(qū)別不大，這個前提就是忽略客戶的效率需求，比如工廠做晶圓上的芯片檢測，這里邊就有了效率需要，雖然一般檢測可能只看2萬倍，但對效率提出很苛刻的要求，鎢燈絲根本不能勝任。

3、系統(tǒng)真空獲得的效率：渦輪分子泵相對擴散泵具有明顯。

 3.1、眾所周知，渦輪分子泵可隨時開關機，油擴散泵開關機受到泵油升溫和冷卻的限制（開關機一個來回至少要等50分鐘），因此要么就開一天，要么一開就至少半天，半天如果只需要做一個小樣，照一張照片，那效率就更低了；除非擴散泵長期不關機，例如2-3個月，真空泵總保持啟動，那么效率還是很高的，這需要特殊照顧。

 3.2、真空潔凈度對效率影響：渦輪分子泵真空潔凈度遠遠優(yōu)于油擴散泵。泵油蒸汽分子，在電子束作用下分解為碳氫化物，污染樣品和末級光闌。電子束掃描樣品時，會被電子束誘導沉積到正在觀察的樣品區(qū)域表面，越高倍，沉積速度越快，污染降低se產(chǎn)額，從而降低成像分辨率；末級光闌在電子束作用下，容易沉積污染物，污染的隨機變化，在高倍引起的象散需要隨時進行校正。往往高倍需要逐級消象散，在一個區(qū)域調(diào)節(jié)電鏡參數(shù)到，然后迅速電位移到就近區(qū)域掃描存儲圖像，這降低操作效率

 3.3、也同樣是污染的原因，擴散泵真空系統(tǒng)掃描電鏡需要的維護周期要短得多，一般建議3個月維護一次，而同樣工作條件，渦輪分子泵真空系統(tǒng)的一般建議是1年維護一次。

   綜上所述：在一次操作周期內(nèi)對效率影響zui大的因素，自動化程度越高，效率越高。應該是樣品臺的自動化程度和真空潔凈程度；電子光學性能需要定位，5000倍以下，不明顯，5000倍以上就顯示高分辨和自動化的。

通過以上簡單分析，對CX-200系列型號作如下推薦，原則是不至于讓您感到特別疲倦，讓您專注于材料的特征觀察分析。

       1、如果您有大量的樣品要做，但要求管理維護簡單方便，應該選擇zui率的CX-200TA型，

       2、如果您有大量的樣品要做，同時可以接受較短的維護周期，可以選擇CX-200DA型

       3、如果您的樣品量不算大，但隨時想看，又不希望花過大精力照顧掃描電鏡，請選擇 CX-200TM型

       4、如果您的樣品量不算大，可以安排專門操作人員“照顧”掃描電鏡，可以選擇更加經(jīng)濟的CX-200DM型

       

二、CX-200系列掃描電鏡主要功能特點：

        CX-200系列中檔分析型掃描電鏡的配置

       硬件使用包括：水平的電子光學系統(tǒng)，中型樣品分析室，五軸或者超級機械對中樣品臺，高速渦輪分子泵真空系統(tǒng)或者高速油擴散泵真空系統(tǒng)，的SMT電路板制作工藝全數(shù)字化電器設備。

       計算機及操作軟件使用新的CX-200納米工作站，輕爽操作體驗。

2.1、可實現(xiàn)功能：標配SE形貌像，可選配 BSE探測器成像，WDS, EDS微區(qū)元素分析，+CCD樣品室監(jiān)控

       2.2、基本性能特點

 (1)、分辨率（ 3.0nm@ 30kv ，10nm@ 3kv），錐形物鏡，長焦性能優(yōu)越。

 (2)、中型樣品室內(nèi)部尺寸直徑為210mm，可同時接配多種探測器；

        五軸機械對中樣品臺，自動或者手動控制。自動臺計算機導航控制，步進電機驅(qū)動精度19nm/步，Point & Go操作，具有坐標定位系統(tǒng)，點擊臨時存儲的圖像，樣品上的該位置能夠自動返回掃描視野中心；樣品上的z軸調(diào)節(jié)范圍5-65mm，實現(xiàn)對大型樣品，和很大高度梯度樣品的靈活操縱，使用自動臺，用戶可以實現(xiàn)對樣品更快速的評估和測量。

 (3)、真空系統(tǒng)為渦輪分子泵真空系統(tǒng)，清潔節(jié)能； 或者更具經(jīng)濟性的擴散泵真空系統(tǒng)。

        (4)、新制作工藝的全數(shù)字化電器控制系統(tǒng)，與主機集成為一體，結構緊湊，穩(wěn)定可靠，與計算機通訊采用USB/PCI接口。整機可輕松在很大范圍內(nèi)移動。

        (5)、數(shù)字化掃描系統(tǒng)，實現(xiàn)從實時基于電視掃描高速模式到高分辨圖像模式，這相對CX-100有了顯著提高。在照相模式下，具有支持采集 [5120 x 3840pixel]的能力。給您提供的視覺質(zhì)量。

        (6)、自動控制:自動電子槍zui大亮度，自動聚焦，自動消象散，自動亮度對比度控制，自動電子束對中，自動電子槍加飽和，自動偏壓，物鏡光闌自動搖擺對中合軸，增加了傾斜補償和自動聚焦功能。具有這些功能，用戶將能夠更輕松操作儀器。

        (7)、GUI操作軟件：多種快捷按鈕，操作簡單方便，同時允許用戶自定義熱鍵，允許更的操作；圖像灰度直方圖實時顯示，可以幫助用戶保持的圖像質(zhì)量；雙圖像顯示，允許用戶輕松比較不同圖像的差別；產(chǎn)品能夠使用MS-Office軟件生成報告，允許用戶創(chuàng)建數(shù)據(jù)。