隨著電子、加工、軍工、醫(yī)療、醫(yī)藥、食品生產(chǎn)等行業(yè)的發(fā)展，對空氣中灰塵顆粒和細菌顆粒的控制要求越來越高，實驗室也需要無塵潔凈。無塵凈化的等級主要是根據(jù)每立方米空氣中粒徑大于分級標準的顆粒數(shù)量來確定的。也就是說，所謂的無塵不是沒有一點點灰塵，而是控制在一個很小的單元里。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒，相對于我們普通的粉塵來說是很小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，即使是少量的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)中，無塵是必然的要求。
  每立方米粒徑小于0.3微米的細小粉塵數(shù)量控制在3500以下，達到無塵標準A級。目前芯片級生產(chǎn)加工采用的無塵標準對粉塵的要求比A級高，這種高標準主要應(yīng)用于一些高級別的芯片生產(chǎn)。5uM及以下細塵量嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，業(yè)內(nèi)也稱為1K級。

  再小的微塵也難逃微粒檢測儀的“法眼”！這是一種計數(shù)粉塵顆粒數(shù)量的儀器，為空氣清潔度的評估提供依據(jù)。作為一種用于檢測潔凈環(huán)境中單位體積灰塵顆粒數(shù)量及分布的儀器，具有檢測速度快、測量精度高、可靠性高、使用靈活、測量性能穩(wěn)定等優(yōu)點。廣泛用于血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)監(jiān)所等權(quán)威機構(gòu)、電子行業(yè)、制藥車間、半導(dǎo)體、光學(xué)或加工、塑料、涂裝、醫(yī)院、環(huán)保、檢驗機構(gòu)等生產(chǎn)企業(yè)和科研部門。
  微粒檢測儀是一種用于探測空氣中塵埃粒子的粒徑和粒子分布的專用裝置。計數(shù)器的檢測速度確實很快，動態(tài)分布也比較廣，不會受到人為因素的影響。測量結(jié)果比較準確。已經(jīng)是很多廠家和科研部門進行顆粒物檢測的。利用塵埃粒子在強光照射下產(chǎn)生散射光。計劃檢測散射光的強度。微粒檢測儀接收靈敏度的穩(wěn)定性是保證測量精度的關(guān)鍵，提出了一種主動校準塵埃粒子計數(shù)器的方法，使儀器在校準過程中始終處于可接受的靈敏度。