用X射線照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長(zhǎng)的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長(zhǎng)（或能量）分開(kāi)，分別測(cè)量不同波長(zhǎng)（或能量）的X射線的強(qiáng)度，以行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。
天瑞X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（次X射線），激發(fā)被測(cè)樣品，產(chǎn)生X熒光（二次X射線），探測(cè)器對(duì)X熒光行檢測(cè)。
近年來(lái)，X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展，已成為種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個(gè)域，特別是在RoHS有害元素的檢測(cè)域應(yīng)用得多也廣泛。那么與傳統(tǒng)的原子熒光光度計(jì)相比，X射線熒光光譜儀與之有哪些共同點(diǎn)和區(qū)別呢？
共同點(diǎn)：二者都是把物質(zhì)激發(fā)后檢測(cè)其熒光
區(qū)別：從大的方面看主要有兩點(diǎn)：
、激發(fā)光源不同。原子熒光用的光源很多，如各種激光等，但很少有用X-射線的；而X-射線熒光則是用X-射線作激發(fā)光源。
二、用途不同。原子熒光光度計(jì)主要用來(lái)作定量分析，尤其是金屬元素的定量分析；而天瑞X射線熒光光譜儀主要用來(lái)作定性分析和結(jié)構(gòu)分析。
此外，二者在儀器構(gòu)、使用方法、檢測(cè)范圍、樣品制備等方面也都存在差別。