20世紀(jì)80 ~ 90年代以來，隨著半導(dǎo)體制造、精細(xì)化工、納米技術(shù)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的快速發(fā)展，氣體流量測(cè)量向小微方向發(fā)展，對(duì)小微流量的需求日益突出。目前用于微流量測(cè)量的測(cè)量?jī)x器主要有電子皂膜流量計(jì)、活塞式根據(jù)密封方式的不同，可分為石墨和汞)等。而電子皂膜流量計(jì)成本低，使用方便，廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、理化分析、科學(xué)實(shí)驗(yàn)等各個(gè)領(lǐng)。

電子皂膜流量計(jì)有溫度、壓力、體積校正功能。用戶可以通過現(xiàn)場(chǎng)自校正，同時(shí)得到被測(cè)氣體的質(zhì)量流量和體積流量，并進(jìn)行統(tǒng)計(jì)計(jì)算。它適用于任何氣體流量的檢測(cè)。電子皂膜流量計(jì)主要如下：

1.適用于校準(zhǔn)方法。將密封的皂液回收杯一直放在電子秤上，讀出蒸餾水排出過程中皂膜管內(nèi)液面位于下刻度線和上刻度線時(shí)的質(zhì)量差，從而計(jì)算出標(biāo)準(zhǔn)體積。避免了常規(guī)標(biāo)定帶來的液位弧度變化，無需反復(fù)移動(dòng)肥皂回收杯，減少了操作帶來的誤差;在校準(zhǔn)過程中，校準(zhǔn)精度可以通過流量控制管和控制閥來控制，有效控制液體的分辨率可以達(dá)到0 .005ml，比常規(guī)控制精度高10倍。

2.還具有皂液回收功能，有效避免了皂液回流帶來的附加誤差，提高了皂膜流量計(jì)的準(zhǔn)確度。同時(shí)避免了皂液的揮發(fā)和浪費(fèi)。電子皂膜流量計(jì)正常運(yùn)行后，可實(shí)現(xiàn)封閉運(yùn)行，避免外界因素對(duì)流量計(jì)的影響。

3.常規(guī)電子皂膜流量計(jì)有0 .5的水平，而電子皂膜流量計(jì)減少了操作過程中的影響因素，提高了標(biāo)準(zhǔn)體積的標(biāo)定精度，避免了附加誤差的影響，提高了流量計(jì)的精度，可以達(dá)到0.2。

4.采用通訊裝置原理，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)開膜方式，彌補(bǔ)了人工開膜的缺陷，減少了檢定誤差，提高了檢定效率。

電子皂膜流量計(jì)其準(zhǔn)確性遠(yuǎn)優(yōu)于用眼睛和手捏秒表間接判斷。用戶可以通過選擇不同量程的探頭和玻璃管來測(cè)量0.1 ml/min至50 l/min范圍內(nèi)的氣體或液體流量，電路控制單元本身可以實(shí)現(xiàn)多量程轉(zhuǎn)換，因此具有廣泛的應(yīng)用范圍。儀器本身具有校準(zhǔn)功能，用戶可以現(xiàn)場(chǎng)自行校準(zhǔn)。操作方便可靠，經(jīng)測(cè)試各項(xiàng)指標(biāo)均滿足要求。