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新一代無損檢測設(shè)備“超級針”X射線成像系統(tǒng)問世
發(fā)布時間：2018-11-05瀏覽次數(shù)：1825返回列表
隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用輕元素材料，對設(shè)備應(yīng)用場景要求加多樣化。高分辨率、高對比度、大檢測范圍的X射線檢測裝備已成為行業(yè)急需。
近日，電科38所發(fā)布研制的新一代無損檢測設(shè)備——“超級針”X射線成像系統(tǒng)，這是臺“超級針”X射線成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力，成像分辨率小于1微米，相當(dāng)于發(fā)絲的1%，可應(yīng)用于集成電路、軍工航天、汽車電子、醫(yī)療診斷、文物保護等多個領(lǐng)域。
微焦點X射線成像系統(tǒng)是工業(yè)無損檢測的常規(guī)必備設(shè)備，廣泛應(yīng)用于集成電路、電子器件等各種器材的無損檢測。電科38所“超級針”X射線成像系統(tǒng)采用獨特的“超級針”X射線源zhuan利技術(shù)，可在圖像增強器上形成被掃描物體的透視圖像。該設(shè)備采用的“超級針”X射線源，因而以“超級針”冠名，具有成像清晰、性能穩(wěn)定、潔凈度高、超低輻射、低能成像等優(yōu)點，在硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料的檢測方面明顯，已申請外發(fā)明zhuan利30余項。
